ÁùºÏ²ÊÖ±²¥¿ª½±

Flat Optics: An Emerging Technology Leveraging Semiconductor Processes

Flat Optics: ??? ??? ???? ??? ??

?? ??? ?? ?? ???? ?? ??, ??, ?? ?? ??? ?????. ?? ??? ?? ?? ??? ??? ??? ??? ?? ????????. ??? ?? ?? ??? ? ??? ???? ??? ????? ?????. ?? ?? ??? ???? ??? ? ???? ??? ??? ???? ??? ???? ? ????. ?? ?? ?? ???? ??? ??? glass-turning, grinding ? polishing? ????, ?? ?? 3D ?? ??? ??????.

???? ???? ?? ?? 15? ?? ?? ???? 10?? ????? ?? ?? ??? ??? ??????. (???) ???? ??? ??? ???? ?? ??? ??? ??? ?? ? glass-turning? ?? ???? ??????. ? ??? ?? ??? UV ?? ?? ? ???? ???? ?? ? ?? ?????? ?? ??? ?????. ?? ??? ?? ?? ??? 3D ?? ?? ?? ??? ?? ??? ???? ??? ??? ??? ?? ?? ?????.

??? ???? ????? ??? ???? ?? ? ?? ??? ?? ??? ?? ???? ? ???? 3D ?? ??? ???. ???? ??? Flat Optics ? ??? ??? ?? ? ?? ?? ??? ?? ?? ?? ???? ??? ???? ?????. ?? ?? ? ???, ????, IR, UV ?? ? ?? ?? ??(?: AR? microLED ?????????)? ??? ?? ?? ?????. Flat Optics? ?? ??? ?? ?? ?? ????? IR 3D ?? ???? ??? ? ??? ?? 5?? 55%? ??? ??? ???(CAGR)? ??????.

Evolution of Optics Manufacturing: Why We Need Optical PDKs

?? ??? ??: ?? PDK? ??? ??

Flat Optics? ???? ?? ?? ??? ?? ???? ??? ??? ???? ???? ??? ????? ????? ????. ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ????? ?? ????? ????. ?? ?? ?????? ?? ?? ??? ???? ??? ????? ?? ?? ?? ???? ??? ??? ??? ?? ??? ???? ????. ?? ??? ???? ?? ?? ??? ???? ???. ??? ?? ??? ?? ??? ???? ?? ??? ????? ???? ?????. ?? ??? ??? ???? ?? ?? ??, ?? ?? ? ???? ??? ? ????. ??? ??-??-??? ??? ?? ???, ?? ? ? ??? ?????? ??? ?? ???? ?? ??? ?????.

??? ?? microelectronics ????? ?? ???? ??? ?????? ?? ?? ??? ???? ?? ?????, ?? ? ???? ??????. ? ?? ??? ???? ?? ?? ??(PDK)? ?? ????? ?? ??? ? ????. ?? ?? ?????? ?? ??? ?? ? capacitance? ????? ?? ???? ???, ?? ??? ??, ? ?? ?? ?? ? ??? ???? ?? ?? ?? ??? ??, ??, ?? ???, ?? ??, ?? ? ??? ?? Flat Optics ??? ??? ?? ? ????. ???? ?? ??, ??? ??? ?? microLED ?????? ?? ?? ?? Flat Optics ??? ????? ????? ?? ??? ??? ??? ???? ?? ? ?? ??? ?????. ? ??? DR(?? ??) ? PDK? ???? ?? ??(IC) ???? ?????. microelectronics? ???? Flat Optics? ?? ???? ???? ?? ????? ??? ???? ?? ?? ?? ?? ?? ??(OPDK)? ?????. OPDK? ???? ???? ??? ?????.

Optical Design and Manufacturing Simulation for Flat Optics

Flat Optics? ?? ?? ? ?? ?????

Flat Optics ??, ??, ?? ? ?? ??? ? ??? ???? ??? ? ?? ??? ???? ????. Flat Optics ????? ?? ??? ??????? ?? ????? ??? ????? ?? ???? ?? ? ???? ? ?? ?? ??? ???? ?? ?? ??? ????? ??? ??? ? ????. ?? ?? ??? ?? ????? ??? ??? ??? ?? ???, ?? DR ? OPDK? ?? ??? ??? ? ????.

ÁùºÏ²ÊÖ±²¥¿ª½±? ???? ?? ??????? Flat Optics ?? ???? ???? ?? ??? ? ??? ?????. ? ??????? ?? ?? ?? ? ??? ?? CODE V?, ?? ?? ? ??? ??? ???? ?? LightTools?, ?????????, ???? ? ?? ??, ????? ??? ?? RSoft^TM Photonic Device Tools? ?????. ?? ?? ?? ???? ? ?? ?? ?????, ??? ?? ? ??? ?? ?, ?? ?? ? ?? ??? ???? Sentaurus^TM ? ???? ?? ÁùºÏ²ÊÖ±²¥¿ª½± TCAD (Technology Computer-Aided Design) ?????? ???? ????.

???? ???? ????? ??? ???? Flat Optics ??? ?? ???? ?????. ? ? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ?? ?? ??? ????? ?? ??? ???. ?? ?? Flat Optics? GDS ??? ???? ?????, ?? ????? ?? ???? ? ?? ??? ???? ??????? ??? ???? ??? ?? ??? ??? ????????. ??? ??? ??? GDS? ???? ?? ?? ??? ??????? ?????? ??? ?? ??? ??? ??? ??? ? ????. ??? ???? ????? ??? ?? Flat Optics ?? ??? ??? OPDK? ?????.

The Metalens Example

Metalens ??

Flat Optics ???? ????? ??? ?? ?? ?????. ?? ????? ???? ??? ??? ?? ?? ??? ???? ?? ?????. ? ??? ??? ?? ??? ???? ?? ?????. "classic" ?? ??? ?? ???? ?? ??? ???? ?? ???? ??? ?? ??? ??? ?? ??? ? ????. ?? ?? ??? flat achromatic lens? ?? ??? ??? ?? ?? ??? ?????. ???? ??? ??? ???? ? ?? ??? ??? ??, ?? ? ??? ?????? ??????. ???? ??? ?? ??? ?? ?? ?? ??? ????? ÁùºÏ²ÊÖ±²¥¿ª½±? MetaOptic Designer tool? ???? ??? ? ????.

??? MetaOptic Designer? ???? 20?m? ?? ???? Airy spot? ???? 500nm ???? ???? achromatic metalens? ??????. ? ?? ???? 20?m? ??? ?? ??? ?? 3?? ??[400nm, 500nm ? 600nm]? ?? ?? ? ????????. ? ?? ?? ?? ??? ?? ?? ?????(SiO2 ?? ?? Si3N4 ?? ??)? ?????. ?? ?? ?? ?? ?? ?????? ?? ???? ????????. ?? ?????? ?? ???? ?????. ?? ?? OPC(Optical Proximity Correction) ??(Proteus OPC ?? Proteus ILT)? ?? ??? ???? ??????? ???? ???? ??????? ? ??? ??? ?? ? ?? ?? ???? ?? ??? ???? ??? ??? ?????. ???? ??? ???? ??? ??????? ?????(S-Litho)? ???? ?????? ?????? ??? ?????. ?????, ?????? ??? ?? ??(Sentaurus Process Explorer)?? ?? ??? ???? ??? ??? ?? ??? ???? ????. ??? ??? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ??????? ????? ?? ?? ?? ??? ???? ?? ??? ??? ? ????.

Designing for the Future: OPDKs

??? ?? ??: OPDK

??? ??-?? ????? ??? ?? ??? ??? ?? ???? Flat Optics ??? ? ? ?? ?? ?????. ????? ????? ?? ??? ?? ?? ???? ???? ?? ????? ??? Flat Optics ??? ???? ?? ?? ????? ??? ? ?? ?? DR ? OPDK? ??? ? ????.

ÁùºÏ²ÊÖ±²¥¿ª½±? ?? ???? ?? ??? ???? ?? ??, ?? ??? ? ????? ????? ??? ???? ??? Flat Optics ??? ?? ?? ??? ??? ? ????. Flat Optics ??? ??? ??? ?? ??? ????? ??? ?? ??? ???? ?? ?? ??? ????? ??, ??? ???? ??? ?? ????.