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从设计到半导体制程:全面探索构超透镜创新仿真流程
2025年1月22日 上午10-11点
随着AR/VR技术的发展,更小型且复杂的光学组件需通过半导体制造工艺实现大规模生产,这些组件包括适用于AR/VR、智能手机、监控设备等领域的大型图案化超构透镜(metalens)。由于制造超构透镜的光刻工艺会影响超构原子(meta atoms)的尺寸和形状,这种制造过程中的变化可能会显著影响光学性能,因此,在设计阶段考虑制造工艺的影响并进行相应的校正是至关重要的。在本次技术讲座中,我们将展示如何评估制造工艺对超颖透镜性能的影响,并在设计阶段采取措施进行校正。
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陈钧顺 / Keith Chen
新思科技资深主任光学应用工程师